これまで、真空蒸着装置はほとんどが量産対応のため、小型で巻取り式の装置は、コストがかかり、大手メーカーでは開発されていませんでした。
　そこで、量産は巻取り式蒸着装置がほとんどといったこともあり、量産条件に近い形で研究開発が行える「小型巻取り式真空蒸着装置」を開発いたしました。
　本製品は、基本となる蒸着装置に、オプションユニットを追加することにより、お客様の様々なニーズにお応えすることが可能となっております。

機材フィルム：金属箔（Cu/Al等）10～30μm厚、プラスチックフィルム（PET/PP/PI等）10μm厚
最大巻径：φ150mm
コア径：3インチプラスチックテーパー付コア（外径φ90mm）
基材幅：130mm（110～150mmの範囲内）
蒸着幅：100mm　　　　　　　　　　　　　　　　　　蒸着速度：最大4m/min
主排気系：10インチ油拡散ポンプ　　　　　　　到達真空度：10⁻³Pa台


【オプションユニット】
・クリーニング/面改質用プラズマ源
・膜厚モニター（渦電流式/水晶振動子式/透過式）
・オイルマスキング（非蒸着部作製/パターニング蒸着）
・RFイオンプレーティング
・帯電除去用プラズマ源
・コールドトラップ